突然断电0.101秒!台积电等受冲击 又有晶圆要报废?

据台湾媒体报道 , 台湾新竹科学园区于3月1日下午15时18分发生大规模电力压降 , 起因是晶圆代工厂力积电主变压器跳脱故障 , 导致力积电与邻近的台积电、世界先进、友达等大厂生产都受影响 , 受创产业涵盖半导体、光电两大领域 , 实际损失仍待清查 。
台湾新竹科学园区管理局局长王永壮表示 , 竹科昨天下午发生0.05秒到1秒之间的电压下降(C级压降)事故 , 竹科内厂商测得压降幅度介于79%至95%之间 , 半导体制程的敏感机台大多有不断电系统(UPS)保护 , 其余机台则会跳脱电力 , 启动保护程序 。
业界人士指出 , 半导体厂发生压降时 , 黄光区有电压稳定装置 , 不致发生晶圆报废情况 , 但薄膜、扩散、 蚀刻区的风险较大 , 可能会全面报废 。
以昨天压降幅度介于79%至95%之间来看 , 等于是“断电” , 即便时间不到1秒钟 , 仍会对半导体厂商造成影响 。
台电新桃供电区营运处表示 , 昨天下午的电力事故 , 并非台电的输电系统造成 , 而是竹科内特高压(161kV)用户的电力设备故障所导致 。
台电举例指出 , 这类电力事故影响所及 , 有如在池塘投入石头 , 漾起一圈圈的涟漪 , 愈接近石头落水处的区域 , 压降幅度愈大 。
据了解 , 昨天压降意外起因于位于竹科三期的力积电主变压器跳脱故障 , 导致发生电压下降波及竹科新竹园区及新竹市东区 。什致跨越头前溪 , 影响到新竹县的竹北台元科技园区、竹科生医园区 , 乃至于位于湖口的新竹工业区 。
对此 , 力积电回应 , 压降时间相当短暂、仅0.101秒 , 部分较敏感的生产机台有跳掉 , 正在查明原因 , 但跳电时间短暂、机台也快速重启 , 对生产影响有限 。
晶圆代工大厂台积电昨日指出 , 公司部分厂区昨下午受电力压降影响 , 历时约50至100多毫秒不等 , 压降发生原因尚待台电厘清 。厂内同仁无安全疑虑 , 实际影响确认中 。
联电表示 , 生产营运未受影响 。
世界先进也坦言 , 旗下新竹厂区有部分机台因压降而受影响 , 目前已依标准作业程序进行检查与复原 , 对于公司生产营运的影响正在评估中 。
友达则说 , 昨天压降意外导致厂区部分机台异常 , 已于晚间恢复 , 厂务运作正常 , 人员均安 。
另一面板大厂群创竹科生产基地主要位在竹科竹南园区 , 未受此次事件影响 。

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